Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий

Статья. Опубликована в ВАНТ, 2014, №2(90), С. 137-142Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей (ГС), предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Разработаны методы получения смесей газов, основанные на последовательной подаче порций газовых компонентов в смесительную камеру и обеспечивающие заданный состав смеси с высокой точностью. Для реализации методов разработаны алгоритмы и на их основе микропроцессорная система управления созданного генератора газовых смесей. Разработанный генератор обеспечивает подготовку смесей из трех газов с возможностью изменения процентного содержания каждого газа в диапазоне 0…100% с шагом задания содержания компонента 1% и погрешностью не более 0,1% по каждому газу.