Технология материалов микроэлектроники: от минерального сырья к монокристаллу
Д. Д. Авров, О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева, Ю. М. Таиров, А. Ю. Фадеев
Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Представлен комплекс лабораторно-практических занятий, основанный на моделировании процессов выращивания однородно легированных кристаллов и оценке влияния режимов роста на их электрофизические свойства. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" и 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" по дисциплинам "Технология материалов и элементов
электронной техники" и "Технология материалов микросистемной техники".
электронной техники" и "Технология материалов микросистемной техники".
Year:
2017
Publisher:
Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
Language:
russian
Pages:
144
ISBN 10:
5762919633
ISBN 13:
9785762919630
Series:
Учебное пособие : УП
File:
PDF, 5.92 MB
IPFS:
,
russian, 2017